بررسی اثر دما بر رشد لایه های گرافین روی فویل مس با استفاده از گاز استیلن در دستگاه رسوب بخار شیمیائی در حرارت مستقیم

ما در این پروژه ، اثر تغییر دما بر روی فرایند رشد فیلم گرافین در دستگاه رسوب بخار شیمیایی را مورد بررسی قرار داده ایم.گرافین یک کریستال تک لایه از اتم های کربن و اولین ساختار دو بعدی پایدار مشاهده شده در آزمایشگاه است.در این پروژه گرافین بر روی فویل مسی به ضخامت 30 میکرو متر در بازه دمایی (450-300)درجه سانتیگراد با استفاده از گاز استیلن به عنوان منبع هیدروکربنی با سرعت شارش sccm30 و گاز هیدروژن و آرگون به ترتیب با سرعت شارش sccm20 و sccm900 در فشار محیط رشد داده شد.مدت زمان فرایند رشد 10 دقیقه در نظر گرفته شد.نمونه های رشد داده شده ؛ به منظور درک ساختار ، مورفولوژی و چگالی نقص شبکه ، به وسیله ی طیف سنج رامان و میکروسکوپ الکترونی کاوشی مورد مطالعه قرار گرفت.با بررسی نتایج آنالیز ها مشاهده شد که ؛فیلم های گرافینی چند لایه روی سطح فویل مس در دمای 450 درجه سانتیگراد شکل می گیرند هرچند که در بازه دمایی بین( 450-350 )درجه سانتیگراد نیز گرافین به صورت تکه ای یا جزیره ای درنقاط مختلف سطح مس مشاهده شد.می توان نتیجه گرفت که کیفیت گرافین رشد یافته به این شیوه شدیداً به فرایند دما وابسته است.